系统的应用及特点：

本设备集成SiO2， SiC，AlOx和SiNx等多种镀膜工艺，能帮助客户降低固定资产投入，提高电池良率。本设备适合156-210mm硅片生产，具有行业内最高产能，能帮助客户降低固定资产投入和运营成本。